在線質(zhì)譜廣泛的應(yīng)用于殘余氣體分析（RGA)、催化研究（TPR、TPD、TPO)、環(huán)境尾氣分析、氣體純度分析、反應(yīng)動力學(xué)等。

　　在線質(zhì)譜的工作流程：氣體樣品→進(jìn)樣系統(tǒng)→離子源→質(zhì)量分析器→離子檢測器→數(shù)據(jù)處理及控制系統(tǒng)，離子源、質(zhì)量分析器、離子檢測器必須在真空下工作（10–4pa)。

　　進(jìn)樣系統(tǒng)  可用卡套直接把樣品毛細(xì)管接到反應(yīng)器，通過持續(xù)不斷的進(jìn)樣、快速的檢測，實(shí)時(shí)在線檢測樣品氣體的種類和含量的變化。進(jìn)樣壓力（100mbar-2bar)，響應(yīng)時(shí)間可短至300ms。進(jìn)樣毛細(xì)管主要有石英毛細(xì)管和不銹鋼毛細(xì)管兩種。石英不會和酸性氣體反應(yīng)且氣體不容易吸附在其表面。

　　離子源  一般都選用電子轟擊離子源（EI）。中性分子被70ev的電子轟擊成離子。目前比較好的燈絲材料是銥，它的使用壽命可達(dá)5年，而鎢燈絲的使用壽命僅1年。

　　質(zhì)量分析器--市面上的在線質(zhì)譜大都用四級桿質(zhì)量分析器。 在線質(zhì)譜四極桿質(zhì)量分析器又稱為四極濾質(zhì)器。它由四根相互平行并均勻安置的金屬桿構(gòu)成，全屬桿的截面是雙曲線形的。 離子束進(jìn)入電場后，在交變電場作用下產(chǎn)生了振蕩，在一定的電場強(qiáng)度和頻率下，只有某種質(zhì)量的離子能通過電場到達(dá)檢測器，其他離子則由于振幅增大，后撞到極桿上而被“過濾”掉，并被真空泵抽走。

　　離子檢測器  法拉第杯（直接電測法）離子流直接為金屬電極所接收，并用電學(xué)方法記錄離子流大小。二次電子倍增器（二次效應(yīng)電測法） 一定能量的正離子打擊陰極的表面，產(chǎn)生若干二次電子，然后用多級瓦片狀的二次電極(或稱打拿極)使二次電子不斷倍增，后為陽極所檢測。 二次電子倍增器的檢測極限更低。在線質(zhì)譜好點(diǎn)的質(zhì)譜會同時(shí)配備這兩種檢測器。